本轮疫情前，中科院上海微系统所信息功能材料国家重点实验室异质集成XOI团队，就已经在满负荷运转。 3月中旬，接到园区封闭管理的通知，团队成员黄凯、赵晓蒙、李忠旭、周民、陈阳、柯新健等主动请缨，进入封闭园区，同20多名支撑人员一起把“临时的家”安在了实验平台，因为，团队研发的压电单晶薄膜异质晶圆技术项目已经进入关键阶段，一刻不能停。

该团队在欧欣研究员的带领下开发出了“万能离子刀”技术，可以从任意晶圆上切出只有几百纳米厚度，相当于比一张纸厚度的十分之一还要薄的高质量单晶薄膜并实现异质集成，是发展下一代集成电路芯片所需的创新材料技术。

经过多年的努力，压电异质晶圆技术目前已实现科研成果转化。该团队正在同上海硅产业集团合作攻克异质晶圆制备的工程化问题，计划今年6月底完成高质量、大尺寸晶圆研发并实现批量送样，满足国内高性能射频器件的产品开发需求，致力于解决集成电路关键衬底材料的国产化问题。

疫情期间，该项技术获得了由科技部主办的首届全国颠覆性技术创新大赛总决赛最高奖项——优胜奖。同时，该团队的研究成果也获得了著名学术奖项——国际IEEE微波理论和技术学会微波奖，每年颁发给一个成果。这是该奖项颁发67年来，中国大陆的第二次获奖。

本轮疫情发生前，这个项目就已经从实验室研究阶段进入工程化阶段，任何一个环节耽搁，都会影响全局。为了实现平台设备的安装、调试及关键工艺导入，这群平均年龄只有30岁的青年，迄今已在封闭园区连续闭环工作超过两个月。特殊时期，他们选择了与科学事业站在一起，在以实际行动诠释了国家战略科技力量的使命担当。

团队成员李忠旭在封控期间顺利完成了博士答辩，从一位博士生成长为青年科技工作者，虽然没有任何庆祝仪式，可他开心地说，“能够继续在研发平台推动项目进展，就是最有意义的庆祝仪式。”

“和战友们一起坚守岗位，我就格外有动力。如果在时间节点内完成好这个项目，我们将无愧于使命任务。” 团队成员黄凯博士在谈到这两个月来坚守岗位的感受时激动地说。

“疫情打乱了我们关键的工作部署，人可以平凡，但是面对这场没有硝烟的战役，身为一个科研人必须勇敢地站出来，把失去的时间抢回来。” 团队成员周民说。

“我们都有一个共同的目标，坚决保证项目在6月底之前实现小批量送样。这不仅是我们个人的努力和目标，也是为了帮助解决核心器件的基础材料问题，我们要尽快为国内各家单位提供晶圆，好用在核心器件的制造生产上。”团队成员赵晓蒙说。

“看到团队中党员们的表现，我深受感触，这就是共产党人的精神。”疫情期间， 关键设备工程师周民感受到先锋、榜样的力量，郑重地向党组织递交了入党申请书，“我们科技青年就应该与党同心，与祖国同行。”

这些年轻科研人员的付出与努力对项目稳步推进起到了重要作用。目前，项目已经完成首批压电异质晶圆的研制工作，正在进行性能优化和可靠性实验。

他们的坚守，还在继续……（肖宏广）

责编：秦雅楠