因一笔仅10万元的股票交易，号称“中国光刻机第一股”的合肥芯碁微电子装备股份有限公司（简称“芯碁微装“），陷入了价值争议。

6月6日晚间，芯碁微装就股东违规减持发布公告称，公司第三大股东苏州中和春生三号投资中心（简称“苏州春生”）在公司未发布减持计划情况下于6月6日因工作人员误操作，通过集中竞价方式卖出其持有的公司股份2000股，成交均价53.46元/股，成交金额10.69万元，违反了相关法律、法规。

尽管苏州春生仅套现10多万元，金额上并不算高，但芯碁微装“工作人员误操作”还是惹恼了部分投资者。

有投资者直接向董秘发问，“违法减持，践踏法律法规，说一下道歉就有用，为什么要法律呢？应该上缴违规减持的款项，并且罚款。”

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芯碁微装由于是国内少数在光刻技术领域里拥有关键核心技术，而被部分媒体冠以“光刻机第一股”的称号，其主要从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售以及相应的维保服务，主要产品及服务包括PCB直接成像设备及自动线系统、泛半导体直写光刻设备及自动线系统、其他激光直接成像设备等。

但外界一直困惑：芯碁微装技术到底如何？真如外界解读的那样具备很高的技术壁垒吗？与我们通常所说制造芯片的投影式光刻机到底有怎样的差距？

“PCB的激光直写式和先进投影曝光式光刻机根本不处在一个等量级，没有办法做对比。”半导体行业人士陈启对《财经天下》周刊表示，技术限制、产能、效率、 分辨率以及复杂图形形成都远远低于大规模投影式光刻机，PCB领域的激光直写式实际上是一项相对落后的技术路线。

“举一个简单的例子，尼康20年前生产的投影式光刻机S204 现在二手货都要卖100多万美元，目前较先进的直写式光刻机来看，尼康的Mask writer 也要卖上千万美元一台，对比之下，芯碁微装营收也仅有几亿元，技术差距可想而知。”陈启说。

财经评论员王赤坤也向《财经天下》周刊表示，泛半导体领域的光刻技术有多种解决方案和技术应用路线，就不同光刻技术路线看，芯碁微装的直写光刻技术精度及产能效率较低，落后掩膜光刻技术；泛半导体领域采用直写光刻技术路线的较少，市场规模较小，远不如其他技术路线。

就技术路线相关问题，《财经天下》周刊致电芯碁微装董秘办，对于业内人士提及的技术路线落后，相关负责人予以否认，并强调，芯碁微装在国内处于领先地位。

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光刻龙头实力如何？

成立于2015年的芯碁微装，于2021年4月1日正式登陆科创板，被称为“国产光刻设备第一股”，首次公开发行A股约3220万股，发行价每股15.23元，此后股价便一路上涨，直到去年12月6日，股价到达最高峰，每股接近百元，一时间风光无两。

此后，芯碁微装便从高点滑落，截至6月10日，芯碁微装股价为51.77元，总市值62.5亿元，较高点近乎腰斩。

光刻机是制造芯片的关键前道设备之一，迄今为止，世界上能自主研发和制造光刻机的厂商依然屈指可数，国内厂商更是少见。光刻机供应紧张，但它又是制造芯片不可或缺的设备，因此极大程度上限制了半导体产能。

头顶光刻机赛道光环，又号称“立志成为国产光刻机世界品牌”的芯碁微装，光鲜靓丽外表下实则技术护城河并不牢固，芯碁微装光刻技术主要集中在技术难度较低的微米级PCB（印刷电路板）领域。

”此‘光刻’非彼‘光刻’。“亚禾资本合伙人徐振群向《财经天下》周刊介绍，“直写光刻机，与我们日常所谈及的ASML、“卡脖子”的光刻机并不同，是应用在低世代制程的无掩模光刻技术，全称为“激光直接成像”，即Laser Direct Imaging，业内经常称为LDI光刻。

据了解，直写光刻机目前主要应用在PCB领域中的FPD低世代线的制造、中低端IC掩膜版制版及IC前道制造中的小批量、多批次的器件研发试制领域。而制造手机芯片的芯片用光刻机为极紫外投影光刻机，这类光刻机技术工艺和材料难度极高，国内厂商基本上望尘莫及。

“我们举个例子，如果说“卡脖子”的光刻机制程精度在20nm（纳米）以下的话，那么LDI光刻机制程则普遍在100nm-200nm甚至以上，而惯用的精度更是在μm（微米）级别了。”徐振群说，作为替代传统底片曝光的技术，LDI技术有着效率更高、精度更高、良率更高的优势。但是，LDI光刻与国际先进的IC光刻并不具备可比性，可以讲完全是两个物种。

在芯片领域，有人将微米与纳米的差距，比喻为太阳与月亮的距离。芯碁微装尽管号称在光刻技术领域里拥有关键核心技术，但直写光刻的技术难度并没有想象那么高，且有很多厂商入局这一赛道。

徐振群进一步向《财经天下》周刊解释称，直写光刻技术是相对比较成熟的，由于市场成熟度的原因，业内厂商普遍规模不大。近几年，在半导体行业国产设备化率逐步提升、科创板注册制的大背景下，若干LDI企业逐步走进了大众的视野。除了芯碁微装，较为知名的LDI企业还有影速、源卓、新诺等，这几家企业有的是大院大所的成果转化，有的是资本力量整合，技术和市场方面各有优势。

从技术沉淀角度来看，国内最先进国产光刻机的整机集成商上海微电子，仅突破了90nm光刻机技术，花了足足20年时间，而国际巨头荷兰ASML（阿斯麦）早在上世纪60年代和70年代就着手研发，经过半个多世纪的技术积累才缔造“光刻巨人”神话，芯碁微装短短不到7年时间，要成为国产光刻机世界品牌道阻且长。

“芯碁微装的技术水平和上海微电子相比，大概差十万八千里。”半导体行业人士陈启对《财经天下》周刊说，目前国内真正拥有高端光刻机技术的应该是长光所、成光所这两家光学研究所，以及02专项下各个子项目和公司，例如负责物镜系统的国望光学，负责准分子激光光源的科益虹源，负责半导体光刻机总集成的上海微电子等。

即便是“第一股”，芯碁微装的技术实力和综合竞争力，在国内也并不算领先。

“PCB 直接成像设备部分核心技术需要时间积累和经验沉淀，与同行业国际厂商（以色列Orbotech、日本 ORC、日本 ADTEC 等）相比，芯碁微装的产品技术水平和业务规模还存在较大差距。”王赤坤对《财经天下》周刊表示，PCB及泛半导体行业产品更新换代速度快，产品的迭代周期一般约为2年。未来如果芯碁微装不能较快持续推出具有竞争力的新产品，将会丢失市场。

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“光刻机第一股”热衷理财

芯碁微装在虽然技术水平上饱受争议，不可否认的是，其业绩在近年来是突飞猛进，从2018年的营收不足亿元到2021年的近5亿元，增长速度并不差。

芯碁微装2021年报显示，公司营业收入 4.92亿元，同比增长 58.74%，净利润 1.06亿元，同比增长 49.44%。营收净利的增长其解释为，泛半导体、PCB 等产品应用领域持续保持稳定快速增长，牵引公司直写光刻设备、直接成像设备及自动线设备销量增加。

陈启认为，目前从目前芯碁微装的市占率，出货量来看算是国内同行领先企业。由于中国是PCB生产大国，这些年包括芯碁微装，江苏影速在内的公司发展较快，导致国外公司在国内的市场份额被逐渐挤占。但是从后面的技术进化角度而言，高端PCB会逐渐技术IC化，使用类似集成电路的光刻-刻蚀的图形化方案。

值得一提的是，自称“技术至上”的光刻机领域，芯碁微装却热衷于投资理财产品，研发费用却少的可怜。

《财经天下》周刊查询芯碁微装年报发现，2019年-2021年，其投资活动产生的现金流量净额分别为-9169万元、5576万元和-3.387亿元，财务上存在较大“窟窿”。其在2021年年报中解释称，首发上市募集资金到位，购买理财产品。

与此同时，2021年，芯碁微装交易性金融资产为2.36亿元，同比大增914.32%，占总资产的比例为18.75%。相比之下，研发费用仅有5000多万元。

另外，芯碁微装经营性现金流远不及净利润，2019年-2021年，净利润分别为4763万元、7104万元、1.062亿元。但芯碁微装的经营活动现金流量净额持续为负且并无好转。2019-2021年，芯碁微装经营活动产生的现金流量净额分别为-1588万元、-5971万元、-3022万元。

无论财务状况如何，对于科创板公司而言，科研水平高低才是决定其未来能否持续成长的关键，然而很多业内人士并不看好芯碁微装的发展。

“以芯碁微装为代表的直写式光刻技术，属于小众市场，不否认其存在价值，但是似乎也没看到有波澜壮阔的发展前景。”陈启表示，随着Chiplett(芯粒)兴起，2.5D/3D等先进封装技术大行其道，更多的芯片不在单独封装后装到PCB板上，而是直接封到一起，这一定程度上而言对于PCB并不是一个好消息，当然PCB也是能维持现在的体量，短期内不会被淘汰。

在王赤坤看来，芯碁微装的直写光刻技术不但面临着同技术路线下的激烈的竞争，还面临和其他解决方案和技术应用路线竞争；芯碁微装直写光刻设具体技术为激光直写光刻，不但产能效率低、设备成本高，客户群和市场规模也较小，落后带电粒子直写光刻等技术。如果这客户群体减少相关预算或采用其他技术路线产品，芯碁微装的市场空间将会进一步被压缩。

曾深陷专利纠纷

芯碁微装的实际科研能力到底水平怎样，从专利数量上可以窥测一二。年报显示，截至 2021 年末，公司累计获得知识产权 120 项，其中发明专利 41 项，实用新型 61 项，外观专利 4 项，软件著作权 14 项。

该公司曾与合肥芯硕半导体有限公司（简称“合肥芯硕”）之间发生了专利纠纷案。事实上，合肥芯硕与芯碁微装有很深的渊源。招股书披露，芯碁微装的诸多核心成员原先就任职于合肥芯硕。

其中，芯碁微装的董事长、实控人程卓，2015年曾参与合肥芯硕重整事宜，被当时的合肥芯硕股东会选为董事长；芯碁微装现总经理方林，曾是合肥芯硕的技术骨干，担任过合肥芯硕的研发部总监、技术部副总。

图/芯碁微装年报

程卓并不简单，技校毕业竟能执掌一家科技公司。根据年报披露的信息显示，她于 1981 年 9 月至 1984 年 6 月就读于安徽省大江技校机械专业，1982 年 9 月至 1985 年 8 月就读于安徽电大汉语言文学专业，2011 年 7 月至 2019 年 10 月，担任安徽盛佳奔富商贸有限责任公司法定代表人、执行董事；2016 年 3 月至 2019 年 10 月，担任芯碁有限董事长；2019 年 10 月至今，担任公司董事长。

以程卓为首核心骨干出走合肥芯硕后，成立了芯碁微装，迅速崛起的芯碁微装一度威胁到“老东家”的地位。为此，合肥芯硕曾以侵犯专利为由，将芯碁微装告上法庭。

2017 年 4 月和9 月，合肥芯硕以侵害其专利权为由分别对公司核心技术人员方林、何少锋提起诉讼，安徽省合肥市中级人民法院均判决驳回合肥芯硕的诉讼请求。2018 年 5 月，合肥芯硕以侵害其专利权为由对公司提起诉讼，安徽省合肥市中级人民法院判决驳回合肥芯硕的诉讼请求，2019 年 1 月，合肥芯硕提起上诉，安徽省高级人民法院终审判决驳回合肥芯硕的诉讼请求。

从上述判决结果来看，合肥芯硕最终败诉，其上诉行为却突然在2019年12月画上了句号。据裁判文书网披露的信息显示，2019年1月之后合肥芯硕曾不服安徽省高级人民法院的判决，向最高人民法院申请再审，但在审查过程中，合肥芯硕却在2019年12月12日突然书面提出撤回再审申请。

陈启表示，芯碁微装与合肥芯硕有多年的知识产权纠纷，虽然最后前者赢了官司，但是却不能证明其掌握了关键核心技术。

芯碁微装成立6年便登陆资本市场，尽管营收状况持续向好，但在技术为王的光刻机领域，芯碁微装的竞争力能保持多久，还存在疑问。

撰文 / 欧阳靖宇

编辑 / 冒诗阳