【文/观察者网 吕栋】

日前，国内企业东方晶源宣布完成新一轮近10亿元股权融资。该公司透露，本轮融资将主要用于新产品研发、生产基地建设并为订单履约提供保障。官网披露，2020年至今，东方晶源曾在“A轮融资实现重组，B轮融资大额超募，高估值完成C轮数亿元融资”。

不过，在被问及融资总额及上市计划时，东方晶源方面11月29日向观察者网表示，该公司融资总额尚未对外披露，今年内没有IPO计划。

东方晶源成立于2014年，总部位于北京亦庄经济技术开发区，专注于集成电路制造良率管理。

“良率管理是晶圆代工厂运营的重要指标，随着集成电路制造复杂度的增加，良率管理的重要性也愈发凸显，因此市场前景广阔。从具体产品来看，东方晶源涉足软件和硬件装备处于产业链上游，是国产替代的核心领域，因此市场规模也很大。”东方晶源向观察者网表示。

原本东方晶源只是半导体细分领域的玩家，并不出圈，但今年初的一件事让东方晶源被放在聚光灯下。

今年2月，荷兰光刻机巨头ASML在财报中宣称，东方晶源正在中国积极销售可能（could potentially）侵犯该公司知识产权的产品。该公司正密切关注东方晶源的动态，如果有确凿证据ASML将诉诸法律。

东方晶源并不直接生产光刻机，为何会被ASML指控？这主要因为ASML的业务不只是光刻机，还有计算光刻、电子束计量与检测系统等软硬件产品，而这些领域恰好涉及东方晶源的主营业务。

东方晶源向观察者网表示，成立8年来，该公司自主研发出计算光刻软件（OPC）、纳米级电子束检测装备（EBI）、12吋和8吋关键尺寸量测装备（CD-SEM）等四款核心产品，“上述产品填补多项国内市场空白，也是目前国内唯一产线验证并实现订单的产品”。

这其中，计算光刻软件应用于光刻掩模版优化，如果曝光图形跟实际掩膜（Mask）有差异，可以通过计算光刻提前修正掩膜确保得到想要的图形，而电子束缺陷检测设备可通过智能算法检测出硅片上的电性和物理缺陷，是芯片制造过程中提升良率的关键设备。

计算光刻校正演示 图源：东方晶源

据东方晶源透露，今年6月该公司电子束缺陷检测（EBI）和关键尺寸量测（CD-SEM）两台设备已交付上海客户，此次出机标志着东方晶源硬件产品开启批量交付模式，之前该公司电子束量测检测设备曾出机国内知名晶圆代工厂。同时，该公司计算光刻EDA软件产品2021年完成28nm逻辑芯片关键工艺层良率硅片验证。

ASML为何会突然盯上东方晶源？观察者网之前在一篇报道中详细介绍过，ASML方面提到，东方晶源与一家已经破产的美国公司XTAL存在关联，2019年美国法院曾判定XTAL侵犯ASML知识产权。

ASML中国也向观察者网表示：“东方晶源和XTAL之间有关系是公开信息”。

彭博社之前的一篇报道提到，XTAL和东方晶源都是由ASML子公司Brion前员工俞宗强（Zongchang Yu）创立于2014年，后者于2012年从ASML离职。其中，XTAL主要设计和制造半导体设备并为行业提供咨询服务，而东方晶源专注于集成电路良率管理。

虽然ASML最初被告知XTAL业务不包括计算光刻，但实际上，XTAL不仅进行计算光刻业务，而且被指控非法利用Brion在该领域的相关技术。在成立一年后，XTAL就抢下ASML多个大客户，包括半导体巨头三星。随后，ASML在2016年对XTAL发起了诉讼。

对于ASML今年初的说法，东方晶源并未正面回应。该公司今年2月在一份声明表示，网络上大量报道与事实不符，该公司自成立以来一直遵守中国法律法规、合法合规经营，形成了独立、完备的知识产权体系。

当被问及对此事有没有进一步评论时，东方晶源11月29日向观察者网表示，暂无更多信息提供。

目前，全球计算光刻工具软件市场完全由Synopsys、Mentor、ASML-Brion等三家美国公司占领。

耐人寻味的是，在东方晶源称该公司计算光刻产品（OPC）完全自研的同时，华中科技大学机械学院刘世元教授团队近日也宣布研发出我国首款完全自主可控的OPC软件，并称从基础研究到产业化应用整整走了十年，填补了国内空白。

东方晶源官网截图

微信公众号“华科人”截图

从体量来看，东方晶源的规模在半导体业内并不算大。该公司去年销售额刚刚过亿，员工规模在300人左右，研发人员占比近70%，曾被评定为国家级专精特新“小巨人”企业。

观察者网查询企查查信息发现，东方晶源目前股权结构较为分散，疑似实控人有两位：陈晓飞和俞中强。其中，陈晓飞企业表决权最大，他同时在20余家投资企业中担任法人。而俞中强是东方晶源董事长和法定代表人，最终受益股份最高（12.7312%）。

而亦庄国投的官网显示，东方晶源由中国500强企业--中国东方集团投资控股，后者在港股上市，旗下主要控股持有的附属公司为河北津西钢铁集团。这一点也与东方晶源披露的信息吻合，该公司曾于2014年-2016年获得津西钢铁投资，完成公司筹建。

亦庄国投还曾提到，俞宗强是回国创业，东方晶源核心团队由曾在美国、日本和欧洲的IC装备制造和计算光刻公司关键岗位工作过的30多名专家构成。

据跟踪中国公司所有权的荷兰达特纳公司（Datenna）称，截至2019年，中国东方集团通过其子公司持有东方晶源50%以上的股份。自那以后，随着其他投资者的加入，该公司已出售了其所持股份。

在最新一轮融资中，东方晶源的原股东兴橙资本、诺华资本、亦庄创投、新鼎资本、松禾资本等机构继续增持，中地信基金、京国盛基金、数文基金、丝路华创、红马资本、五牛控股等成为“新力量”。

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